RegionGlobal Website
400 0518 700
單晶爐
Thermoelectric semiconductor cooler
單晶爐

Ferrotec（中國）單晶爐

在惰性氣體環(huán)境中，用石墨加熱器將保存在石英坩堝內(nèi)的多晶硅等多晶材料高溫熔化，再將籽晶放入變成液體的硅溶液里按自動程序用直拉法生長無錯(cuò)位單晶的設(shè)備, 可控制整體裝料量，全自動控制拉晶過程, 全面數(shù)字化管理，采用中央集中控制系統(tǒng),減少了人為因素的參與，保證質(zhì)量穩(wěn)定性。
單晶爐分類
Ferrotec（中國）自主研發(fā)的半導(dǎo)體用單晶爐，采用龍門式框架結(jié)構(gòu)，穩(wěn)定性好剛性強(qiáng)，驅(qū)動裝置采用電動、氣動方式，光軸潤滑采用自潤滑軸承，避免油脂污染，全自動控制拉晶過程，嵌入長晶控制系統(tǒng)，整合功率器件用超低電阻率單晶量產(chǎn)技術(shù)，采用超導(dǎo)體磁場，可拉制8/12英寸晶棒。 不同型號的單晶爐在設(shè)備運(yùn)作效率、機(jī)械部件結(jié)構(gòu)等方面各有差異。
太陽能級單晶爐FT-CZ1200PV
太陽能級單晶爐FT-CZ1200PV
硅材料級單晶爐FT-CZ1200Si/1400Si
硅材料級單晶爐FT-CZ1200Si/1400Si
半導(dǎo)體級單晶爐FT-CZ1200SE/1400SE
半導(dǎo)體級單晶爐FT-CZ1200SE/1400SE
人性化設(shè)計(jì)
人性化設(shè)計(jì)
管理、操作及維護(hù)方便性
管理、操作及維護(hù)方便性
全自動、安全性、均一性
全自動、安全性、均一性
穩(wěn)定、潔凈
穩(wěn)定、潔凈
Ferrotec單晶爐優(yōu)點(diǎn)
穩(wěn)定、潔凈；全自動、安全性、均一性；管理、操作及維護(hù)方便性；人性化設(shè)計(jì)。焊接工藝符合日本JIS標(biāo)準(zhǔn)，柔性設(shè)計(jì)具備雙重防爆安全系數(shù)，特別增加安全泄壓閥及提升防爆系統(tǒng)；遠(yuǎn)程控制插口可實(shí)現(xiàn)對多臺設(shè)備的集中監(jiān)控和管理；各操作參數(shù)及制程階段人機(jī)界面觸摸屏可實(shí)時(shí)顯示并修改。
聯(lián)系電話： 021-36160062
Matrix diagram of applications in various fields
各領(lǐng)域的應(yīng)用之矩陣圖
該產(chǎn)品的生產(chǎn)基地