セラミックス
フェローテック(中國)はセラミックス技術(shù)を基に、石英、セラミックス、シリコンパーツなどの半導(dǎo)體用の新材料を生産しています。
當(dāng)社のシリコンパーツやボートは半導(dǎo)體製造裝置で幅広く使われています。シリコンボートは主に熱酸化、アニーリング、LPCVDなどの熱処理爐に使用され、シリコンフォーカスリングやシャワーヘッドは主にプラズマエッチング裝置に使用されており、 國內(nèi)外の多くの半導(dǎo)體メーカーからその優(yōu)位性を高く評(píng)価されています。
Ferrotecは高性能な製品を検査する上で必要な、三次元測(cè)定器、プロジェクター、粗さ計(jì)、比抵抗計(jì)、LPC、その他の試験裝置等、様々な高精度の試験裝置を備えています。 また、50以上の高精度高性能なCNCマシニングセンタ、CNC旋盤、平面研削盤、ワイヤーソー、バンドソー、溝切機(jī)、センタレス研削盤等を稼動(dòng)しています。自主開発の半導(dǎo)體裝置向けパーツの高純度洗浄ラインを備えており、7nmプロセスの要求をも満たせます。
