Ferrotec(中國)は精密石英の分野に精密加工センターが有り、レーザーカッター、ウォータージェート、LAP/POLISH等の各種先進(jìn)の生産設(shè)備があります。10000クラス化學(xué)洗浄クリーンルーム及び100クラス純水洗浄室もあります。12"インチ,8"インチ及び8"インチ以下の半導(dǎo)體製造裝置用の石英製品を量産化することができます。また、次世代の18"インチの石英製品の研究開発能力も持っています。
Ferrotec石英工場は顧客の要求に基づき最適な原材料を選定することが出來ます。主要な輸入材料の規(guī)格は網(wǎng)羅しています: MOMENTIVE(元GE)石英株式會(huì)社124、144、214、224(弱アルカリ性)、244 (低アルミニウム成分)、へラオスHSQ330、HSQ300、TSC-3。日本TOSOH OP-1、OP-3、ドイツQSIL PI、PN等
高精密検査測(cè)定設(shè)備が複數(shù)臺(tái)あります。例えば、三次元測(cè)定器、スペクトル分析機(jī)、投影機(jī)、粗さ測(cè)定機(jī)、顕微鏡、厚さ測(cè)定機(jī)など。
各種高精度高性能の加工設(shè)備が二百臺(tái)以上もあります。例えば、マシニングセンター、NC旋盤、平面研削機(jī)、ウオータージェート、レーザー切斷機(jī)、,ワイヤソ―,バンドソー、大型ラジアルボール盤、円筒機(jī)、センタレス研削機(jī)、旋盤機(jī)などの高精度汎用機(jī)。また自主開発の自動(dòng)洗浄ラインも多數(shù)あります(內(nèi)1ラインは世界最先端の自動(dòng)洗浄ラインです)。自動(dòng)精密焼成機(jī)も數(shù)種類あります。