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精密洗凈技術(shù)
精密洗凈技術(shù)
為應對不斷提升的半導體制程要求,依托美國、日本等技術(shù)支持,成功完成陶瓷溶射工藝的研發(fā)并量產(chǎn),擁有國際先進的洗凈生產(chǎn)線,努力搶占半導體、TFT產(chǎn)業(yè)技術(shù)制高點。
技術(shù)發(fā)展路線 技術(shù)設(shè)備能力 生產(chǎn)工藝 實用新型國家專利