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大硅片技術(shù)
Ferrotec（中國）12英寸大硅片技術(shù)的突破，尤其是拉單晶技術(shù)、拋光技術(shù)，使得硅片生產(chǎn)能力進(jìn)一步升級(jí)，逐步實(shí)現(xiàn)300mm半導(dǎo)體硅片20萬片/月的目標(biāo)。
Wafers for Semiconductor
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生產(chǎn)工藝
技術(shù)發(fā)展路線
生產(chǎn)工藝
Silicon Wafer Process Flow
多晶
Poly Silicon
CZ法拉晶
CZ Growing
晶棒滾磨
Grinding
晶棒截?cái)?br>Cutting
切片
Slicing
倒角
Beveling
研磨
Lapping
腐蝕
Etching
熱處理
Donor Kill
背面處理
Back Treatment
邊緣拋光
beveling Polishing
拋光
Polishing
洗凈
Cleaning
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Inspection
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